電子/半導體

Vacuum plate　真空吸附板。

是用作吸附、保持晶圓或平板等之平板中，當對單片晶圓加以研磨時，作為將晶圓加以固定之被加工物保持板。就保持方法而言，有真空吸附方法或使用模板裝配之以水黏貼等非膠接方式。吸附板大都使用陶瓷材質。