靶材為濺鍍時的材料。主要可應用在ITO導電玻璃、DWDM（高密度多工分配器）、CD-R、CD-RW、DVD、EMI（抗電磁波干擾）、OLED、磁性材料、感測元件、壓電材料、硬化膜、高溫超導等產品上。

例如，根據國內產業調查單位的統計數據，在十五吋TFT面板的成本結構中，包括玻璃（2％）、靶材（1％）、彩色濾光片（13％）、偏光膜（6％）、驅動IC（10％）、背光模組（8％）以及其他中段Cell工程材料（2％）與後段模組材料（9％），合計所有材料成本佔整體生產成本的51％。